湖北晶圆薄膜电阻修调机

LT7130激光调阻机



设备特点





•调阻效率高：调阻速度相对国内其它激光调阻产品高出4-10倍，产能大大提升，单位成本下降。

•调阻精度高：独特的测控技术，测量控制系统精度的一致性好，提升产品附加值；成品率高，单位成本下降。

•软件可编程：可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行，也可作为专门的测试平台，适应性广。

•使用成本低：采用了最先进的激光器，无耗材，使用成本最低，长期使用节约大量的费用。

•多功能：可实现陶瓷基片的激光划线、打标，减少设备的再投入。

•专业大理石基座，可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动，同时保持机台温度的稳定性，可靠性高。



主要技术参数





激光系统 型号规格 LT7130

激光波长 1064nm

激光功率 10W

典型光斑尺寸 35±5µm

对焦方式 自动，计算机程序控制

冷却方式 风冷

激光束定位系统 激光束运动范围 60mm X 60mm

运动分辨率 0.76µm

重复定位精度 ±2.5µm

分步重复运动系统 运动方式 空气悬浮运动，无摩擦力

运动范围 290mm*260mm

重复定位精度 ±2µm

最大运动速度（空载） 900mm/s

测量系统 电阻测量方式 四线制测量或二线制测量

电阻测量精度 中阻0.02%

电阻测量范围 0.1Ω-100MΩ

测量速度 25µs/次

零点及满程误差校正 自动校正

探针定义 可编程任意设定

探针板运动 自动，计算机程序控制



联系人：程工

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